Dünnschichttechnologie als Schlüssel zu Produktinnovationen in Energie-, Informations- und Lichttechnik, Sensorik und Mikrosystemen

Transparent leitfähige Beschichtungen (TCO) kombinieren die Transparenz von Glas mit der Leitfähigkeit von Metallen. Diese multifunktionalen Eigenschaften machen TCOs seit jeher zu Schlüsselkomponenten der industriellen Oberflächentechnik, um z. B. Wärmeverluste in Fenstern durch leitfähige, niedrig emittierende Low-E Beschichtungen zu verringern und um elektrische Kontakte für Solarzellen, Displays, LEDs und OLEDs zu fertigen.

Mittlerweile rücken auch die aktiven Eigenschaften der Metalloxide zunehmend in den Fokus der Produktentwicklung. Oxidische Dünnschicht-Transistoren überzeugen bezüglich ihrer Materialeigenschaften und Kostenstrukturen. Völlig neue Produkte wie flexible TFT-Arrays für Displays und Sensorik sowie transparente Aufbauten sind möglich – sogar über die kostengünstige, strukturierte Abscheidung der Oxidschichten bei Atmosphärendruck.

Der weite und stark wachsende Bereich der Großflächenelektronik mit den Themenschwerpunkten Dünnschicht-Photovoltaik und OLED-Beleuchtung führt zu Material- und Prozessinnovationen und zu völlig neuen Verfahrensansätzen. Neue Entwicklungen im Bereich CVD bei niedrigen Drücken und Atmosphärendruck und p-leitende TCOs werden behandelt. Andere Verfahren wie die Atomlagen-Abscheidung (ALD) ermöglichen eine schädigungsarme Beschichtung empfindlicher Bauteile wie OLEDs, LEDs und HIT-Solarzellen. Die Technologie der transparenten metallischen Gitter bietet einen Zugang zu extrem gut leitfähigen Beschichtungen und erreicht mittlerweile einen für industrielle Anwendungen tauglichen Reifegrad.